芯源微获得实用新型专利授权:“一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯源微(688037)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构”,专利申请号为CN202520976124.7,授权日为2026年4月28日。

专利摘要:本实用新型属于半导体设备配件技术领域,具体地说是一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构,包括弹性锁杆组件,弹性锁杆组件设置于晶圆盒转接器上。弹性锁杆组件包括锁杆及弹性件,锁杆的一端位于靠近晶圆盒转接器前门的一侧,锁杆的另一端位于远离晶圆盒转接器前门的一侧、且位于靠近晶圆装载系统门板外侧的晶圆装载系统背板处,弹性件设置于锁杆的外周。本实用新型通过弹性锁杆组件的设置,可在设备工作时,通过纯机械结构自动将晶圆盒转接器的前门锁定,有效避免此时被误开,进而有效确保设备洁净度和安全性,完成工作后也能自动解锁前门,且无需使用电动以及气动结构,不受断电影响,使用更为可靠,结构相对简单,设置成本相对也较低。

今年以来芯源微新获得专利授权13个,较去年同期减少了35%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2.55亿元,同比减14.21%。

通过天眼查大数据分析,沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目334次;财产线索方面有商标信息49条,专利信息680条,著作权信息100条;此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源:天眼查APP

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